プロセス解説

半導体前工程の酸化膜形成を詳しく解説！CMOSで欠かせないスクリーン酸化、HDP酸化、ゲート酸化膜などの役割と成膜方法をイラスト付きで紹介。チップの保護・絶縁に欠かせない技術を学べます。